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Ohne Netz, aber mit doppeltem Boden

Doppelboden im Reinraum – wozu das?

„Ohne Netz und doppelten Boden“ sagt man gern, wenn eine Sache leichtsinnig, oder nicht ausreichend abgesichert ist. Im Reinraum hingegen ist nichts dem Zufall überlassen. Es gibt wohl kaum räumliche Umgebungen, für die peniblere gesetzliche Vorschriften und Überwachungsmechanismen gelten. Mit gutem Grund: Was in Reinräumen produziert, bearbeitet, aufbereitet oder verpackt wird, darf in keinster Weise durch Partikel verunreinigt werden.

Den doppelten Boden gibt es in Reinräumen allerdings nicht nur sprichwörtlich. Vor allem in der Mikroelektronik kommt diese besondere Form des Lüftungskonzepts zum Einsatz.

Wie funktioniert’s? Durch Löcher im Boden wird die von der Decke nach unten strömende Luft angesaugt und mittels eines Umluftsystems zurück ins Plenum geführt.

Was ist der Vorteil? Die Abführung der Luft durch die Öffnungen verhindert eine Querverteilung von Kontaminationen am Boden. Auf Deutsch: Die Partikel können am Fußboden nicht nach links oder rechts ausbüchsen und sich wieder unkontrolliert im Raum verteilen. Zudem sind die Ver- und Entsorgungsleitungen im Doppelboden für Wartungen leicht zugänglich.

Anwendung finden Doppelböden in Reinräumen vor allem in der Mikroelektronik und Flachbildschirmfertigung, wo hohe Reinheitsklassen gefordert sind.

Das Foto wurde übrigens im Forschungs-Reinraum (ISO-Klasse 1) des Fraunhofer Instituts in Stuttgart-Vaihingen aufgenommen.

Veröffentlicht: September 2023

 

 

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