Moleküle im Visier

Geht es um Kontamination im Reinraum, so heißt das primäre Überwachungsziel in der Regel „Partikel“. Das ist nicht verwunderlich, denn Partikel tummeln sich millionenfach in der Luft – pro Kubikmeter wohlgemerkt. Es gibt allerdings eine weitere Form der Verunreinigung, die bei Planung und Realisierung von Reinräumen gern unterschätzt wird: Die molekulare Verunreinigung (Airborne Molecular Contamination AMC).

Dabei handelt es sich um gas- oder dampfförmige Substanzen, oft Ausgasungen von Material, Prozesschemikalien oder flüchtige organische Verbindungen. Molekulare Verunreinigungen sind meist wesentlich kleiner als Partikel und können zu nicht kontrollierbaren chemischen Reaktionen, Korrosion oder Schichtbildung auf Oberflächen führen. Vor allem in der Halbleiterfertigung können sie erhebliche Probleme verursachen.

Veröffentlicht: März 2026